Czujniki ciśnienia MEMS na zakres 50 b dostarczane w postaci struktur o wymiarach 1,64 x 1,64 mm

MLX90815 i MLX90816 to kolejne czujniki ciśnienia bezwzględnego z oferty firmy Melexis z kwalifikacją AEC-Q100 pozwalającą na zastosowania w elektronice samochodowej i w innych wymagających środowiskach. Pracują w dopuszczalnym zakresie temperatur od -40 do +150°C. Zawierają piezorezystywny mostek pomiarowy Wheatstone\'a przymocowany do membrany krzemowej, którego wyjście z równowagi wskutek przyłożonego ciśnienia jest sygnalizowane zmianą napięcia wyjściowego.

Mogą służyć do pomiaru mediów neutralnych - bezpośrednio oraz mediów korozyjnych - po zastosowaniu pośredniej bariery olejowej. Oba czujniki są dostarczane w postaci struktur półprzewodnikowych o wymiarach 1,64 x 1,64 mm, przeznaczonych do integracji w modułach zaprojektowanych przez użytkownika. Ich optymalne zakresy pomiarowe wynoszą odpowiednio 0...30 i 30...50 b, a czułość odpowiednio 1,5 i 0,5 mV/V/b. Oba zapewniają bardzo dobrą liniowość - maksymalna odchyłka od charakterystyki idealnej wynosi jedynie 0,2% FS.