Czujnik MEMS VOC do pomiaru jakości powietrza w pomieszczeniach mieszkalnych

W ofercie firmy ams AG pojawił się czujnik lotnych związków organicznych (VOC) oznaczony symbolem AS-MLV-P2, zaprojektowany do pomiaru jakości powietrza w pomieszczeniach mieszkalnych. Został on zrealizowany w technologii MEMS. Odznacza się dużą dokładnością pomiaru przy małych gabarytach i małym poborze mocy oraz długoterminową niezawodnością. Działa na zasadzie zmiany rezystancji sensora wywoływanej pojawieniem się w otaczającym powietrzu zanieczyszczeń, takich jak alkohole, aldehydy, ketony, kwasy organiczne, aminy oraz węglowodory aromatyczne i alifatyczne, które w dużych stężeniach mogą być szkodliwe dla ludzi i zwierząt.

AS-MLV-P2 jest produkowany w obudowie TO-39 (Ø9 x 2,9 mm) o wymiarach 9,1 x 9,1 x 4,5 mm. Został wykonany w oparciu o struktury cienko- i grubowarstwowe oraz nowo opracowane przez ams technologie, nad którymi trwają obecnie procesy patentowe. Sam sensor wykonano na podłożu krzemowym. Platynowy grzejnik i struktura elektrodowa zostały umieszczone na mikrometrowej membranie LPCVD z azotku krzemu w celu zapewnienia możliwie najmniejszego poboru mocy. Na wewnętrzne elektrody została naniesiona warstwa detektora bazująca na tlenku cyny, której przewodność jest uzależniona od stężenia gazu. AS-MLV-P2 charakteryzuje się czasami detekcji/regeneracji rzędu pojedynczych sekund. Jego ceny zaczynają się od 14,30 USD przy zamówieniach 1000 sztuk.

Ważniejsze dane techniczne:

• temperatura pracy grzejnika: +320°C;
• rezystancja grzejnika: 95 W;
• pobór mocy: typ. 34 mW;
• rezystancja sensora w czystym powietrzu: 100...500 kΩ;
• dopuszczalny zakres temperatur otoczenia: 0...+50°C;
• dopuszczalny zakres wilgotności: 5...95% RH.