Różnicowe czujniki niskich ciśnień o zakresach pomiarowych od 25 do 500 Pa
Firma First Sensor opracowała serię różnicowych czujników niskiego ciśnienia LME, przystosowanych do montażu na płytkach drukowanych. Są to czujniki zrealizowane w technologii MEMS, produkowane w wersjach na zakresy pomiarowe od 0...25 Pa do 0...500 Pa (od 0,1 do 2 inH2O). Charakteryzują się wysokością wynoszącą jedynie 9 mm powyżej powierzchni płytki drukowanej, wliczając w to porty ciśnieniowe.
Mogą być łatwo dopasowywane do adapterów w aplikacjach o specyficznych wymogach montażowych, np. w przemyśle HVAC. Ich architektura micro-flow z miniaturowymi kanałami przelotowymi i sensorami wykonanymi w ramach jednej struktury krzemowej pozwala nie tylko zmniejszyć wymiary zewnętrzne, ale też zapewnia dużą odporność na zanieczyszczenia i kondensację. Czujniki LME nie wymagają rekalibracji ani korekty sygnału wyjściowego w przypadku stosowania długich rurek połączeniowych i filtrów wejściowych. Charakteryzują się bardzo dużą czułością i dokładnością oraz stabilnością długoterminową lepszą niż 0,1 Pa/rok. Komunikują się z systemem za pośrednictwem interfejsu SPI i analogowego.