Rodzina narzędzi litograficznych PAS 5500 firmy ASML dla płytek o średnicy 200 mm pojawiła się na rynku w 1991 r. Chociaż ASML już od dawna nie produkuje tego sprzętu, firma cały czas sprzedaje odnowione maszyny używane i planuje wspierać je serwisem aż do 2035 r. Z uwagi na popularność, na rynku jest też mnóstwo części zamiennych, szczególnie u dostawców chińskich.
PAS 5500 z laserem o długości fali 193 nm pozwala osiągnąć rozdzielczość procesu 90 nm, a więc maszyny te nadają się dla rosyjskich producentów, takich jak Angstrem i Mikron, które są w stanie produkować zaawansowane układy logiczne w procesach 130 i 90 nm. Formalnie narzędzia litograficzne PAS 5500 nie są klasyfikowane jako technologia podwójnego zastosowania z potencjalnymi zastosowaniami wojskowymi, prawdopodobnie dlatego, że najnowsze urządzenia mają około 20 lat. Mimo tego wieku nadal nadają się do wytwarzania wielu chipów cyfrowych oraz układów analogowych i RF.
