Piezoelektryczne źródło energii AlN

Piezoelektryczne źródło energii o wydajności zwiększonej do 60µW

Firma Imec osiągnęła nowy poziom wydajności źródła piezoelektrycznego uzyskany przy niższej niż dotąd częstotliwości rezonansowej. Zaprezentowane rok wcześniej źródło PZT charakteryzowało się wydajnością 40µW występującą przy częstotliwości drgań 1800Hz. Nowo opracowane źródło AlN charakteryzuje się wydajnością 60µW uzyskaną przy znacznie niższej częstotliwości rezonansowej wynoszącej 500Hz. Niższa częstotliwość rezonansowa oznacza znacznie szerszy zakres potencjalnych zastosowań. Z kolei wydajność 60µW wystarcza to do zasilania prostych czujników bezprzewodowych wysyłających w trybie ciągłym informacje do odbiornika. Jednym z przykładów zastosowań może być monitorowanie ciśnienia w oponach samochodowych.

Nowy moduł AlN – przekształcający energię drgań na sygnał elektryczny - został wyprodukowany w oparciu o prostą technologię kompatybilną z procesem CMOS, wykorzystującą azotek glinu jako materiał piezoelektryczny. Elektrody piezoelektrycznego \"kondensatora\" zostały wykonane z platyny (dolna) i aluminium (górna). Podczas wibracji materiał piezoelektryczny jest ściskany w wyniku działania sił bezwładnościowych i na zaciskach pojawia się napięcie elektryczne. Uzyskania energia 60µW została zmierzona w warunkach przyspieszenia 2g występującego na częstotliwości rezonansowej 500Hz.