Siłowniki piezoelektryczne do nanopozycjonowania i sterowania zaworami

Do oferty TDK wchodzą dwa nowe siłowniki piezoelektryczne, wykonane z cyrkonianu-tytanianu ołowiu (PZT) z wewnętrzną elektrodą miedzianą, dostarczane jako pasywowane komponenty bez obudowy. COM30S5 (B58004M4030A020) i COM45S5 (B58004M4040A020) charakteryzują się bardzo szerokim zakresem dynamicznym, dużym stosunkiem siły do objętości oraz precyzją rzędu nanometrów. Uzyskano to dzięki opatentowanej technologii High Active Stack (HAS), która w porównaniu z innymi technologiami zapewnia dodatkowo dużą odporność na wilgoć i dłuższą żywotność.

Nowe siłowniki pracują z napięciem zasilania od -10 do +180 V, przy czym skok znamionowy jest osiągany przy napięciu +160 V. Zakres dopuszczalnej temperatury powierzchni wynosi od -40 do +160°C. Oba siłowniki zapewniają skok wynoszący odpowiednio 55 i 83 µm i charakteryzują się siłą 730 N. Ich wysokość wynosi odpowiednio 30 mm i 45 mm, a przekrój poprzeczny to 5,2 x 5,2 mm.

TDK planuje wprowadzić na rynek jeszcze w 2023 roku trzy kolejne modele: COM10S5 (Z63000Z2910Z001Z78) o wysokości 10 mm i skoku 16 µm, COM27S3 (Z63000Z2910Z001Z77) o wysokości 27 mm i skoku 47 µm oraz COM30S7 (Z63000Z2910Z001Z70) o wysokości 30 mm i przekroju 7 mm x 7 mm, zapewniający skok 55 µm i siłę blokującą 2600 N.

Zakres zastosowań siłowników z nowej oferty obejmuje nanopozycjonowanie, sterowanie zaworami cieczy i gazów w technice procesowej i produkcję półprzewodników.