Stanowisko Tropel FlatMaster MSP pozwala na bezkontaktową inspekcję powierzchni wafli krzemowych z dużą rozdzielczością oraz wysoką powtarzalnością. W trakcie pojedynczej serii pomiarowej zbieranych jest minimum kilkaset tysięcy punktów, dzięki czemu uzyskuje się całościową informację na temat stopnia płaskości wafli oraz głębokości struktur w nich obecnych. Czas pojedynczej serii wynosi zazwyczaj około 30 s. Niepewność pomiaru płaskości wynosi 60 nm - przy powtarzalności 20 nm. Natomiast niepewność pomiaru głębokości struktur zależy od ich geometrii i jest równa od kilkudziesięciu do kilkuset nm.
Stanowisko zasilane jest napięciem sieciowym 100–240 V AC i pracuje w temperaturze: 15- 25 °C. Pobór prądu podczas pracy nie przekracza 4 A. Dopuszczalna wilgotność względna mieści się w zakresie od 5% do 95% RH, pod warunkiem braku kondensacji. Konstrukcja urządzenia uwzględnia pasywny układ izolacji drgań. Wymiary stanowiska wynoszą: 1,6×1,03×1,5 m. Jego ciężar to około 390 kg, co jest niewielką wartością w porównaniu z innymi rozwiązaniami tej klasy dostępnymi obecnie na rynku.
Więcej na: www.corning.com
