Czujniki niskiego ciśnienia o zakresie pomiarowym od 1,25 mb
Na rynku przemysłowym i medycznym rośnie zapotrzebowanie na czujniki niskiego ciśnienia. W instalacjach HVAC, aparaturze do monitorowania pacjentów i systemach wspomagania oddychania CPAP (continuous positive airway pressure), wykrywanie małych zmian ciśnienia jest kluczowe. Wymagane są tu czujniki małogabarytowe, charakteryzujące się dużą dokładnością i bardzo dobrą stabilnością długoterminową.
Do tego typu zastosowań firma TE Connectivity zaprojektowała serię czujników SMI produkowanych w technologii MEMS. Występują one w wersjach do pomiaru ultra-niskiego ciśnienia manometrycznego i różnicowego z zakresu:
- 1,25…6 mb (seria SM9000),
- 5…98 mb (SM7000/6000/5000),
- 345…2070 mb (SM4000/1000).
Czujniki SMI zawierają sensor piezorezystancyjny oraz układ kompensacji sygnału wyjściowego. Ich całkowity błąd pomiaru wynosi od 1% FS. Występują w wersjach z wyjściem cyfrowym oraz w wersjach redundantnych w wyjściem cyfrowym i analogowym. Wyjście cyfrowe I2C, zapewniające 16-bitową rozdzielczość, umożliwia sygnalizowanie zmian ciśnienia już na poziomie 0,0038 Pa. Z kolei wyjście analogowe zapewnia bardzo krótki czas odpowiedzi. Czujniki SMI są produkowane w obudowach SOIC-16 i SOIC-10 z portami procesowymi wyprowadzonymi pionowo lub poziomo.
