ASML i IMEC odnowiły umowę o współpracy

Wtorek, 18 października 2011 | Gospodarka Artykuły

ASML, czołowy dostawca narzędzi do litografii, oraz belgijski instytut badawczy Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC) przedłużyły umowę o współpracy na lata 2011 - 2015. Jak dotąd obie organizacje ściśle współpracowały przy opracowaniu i produkcji narzędzi fabrycznych do litografii, zarówno optycznej jak i w skrajnym ultrafiolecie.

IMEC otrzymał od ASML jeden z pierwszych systemów do litografii EUV do swojego zakładu produkcji pilotażowej operującego na płytkach 300mm. Obecnie obie firmy koncentrują prace m.in. na poprawie jakości i wydajności maszyn do litografii UEV.

Poza przewidzianą na listopad br. instalacją w IMEC systemu NXT1950i, najnowszego narzędzia ASML do litografii immersyjnej 193nm, producent narzędzi dostarczył instytutowi na wiosnę system EUV NXE:3100 (preproduction), a obecnie zamierza zainstalować jego następcę, system NXE:3300B (production ready).