Mapper otworzył w Rosji fabrykę układów MEMS

| Gospodarka

Mapper, dostawca skanerów do litografii, otworzył w moskiewskim centrum biznesowym Technopolis kosztem 30 mln dol. fabrykę elementów soczewek MEMS, poinformował państwowy rosyjski fundusz rozwoju nanotechnologii Rusnano. Finansowany przez rząd rosyjski Rusnano w 2012 r. zapowiedział, że zainwestuje w Mappera 50 mln dol.

Mapper otworzył w Rosji fabrykę układów MEMS

Fabryka MEMS w moskiewskim centrum Technopolis ma mieć zdolność wytworzenia soczewek i innych komponentów do 20 systemów do litografii Mappera rocznie. W fabryce powstawać będą m.in. przekładki dystansowe, krzemowe soczewki elektroniczne do ogniskowania i kolimacji wiązek elektronów, a także zaawansowane układy elektroniczne do elektrod sterujących.

Systemy do litografii Mappera pracują w oparciu o technologię wiązek elektronowych (e-beam), która, obok EUV, może znaleźć zastosowanie w skanerach do litografii następnej generacji. Firma ściśle współpracuje z instytutem CEA-Leti oraz dostawcą kontraktowym TSMC.

Zobacz również