Kluczowym parametrem tej technologii jest uzysk, który w przypadku nowego procesu zwykle rozpoczyna się od poziomu poniżej 50% dla serii próbnych, a w produkcji masowej oscyluje między 80 a 90%. Ze względu na złożoność najnowszych procesów produkcyjnych uzyskanie dużych wskaźników procentowych jest coraz większym problemem.