Historycznie, koszty produkcji rosły wraz z każdym skalowaniem procesu - od około 2000 dolarów za płytkę przy 90 nm w 2004 r. do 10 000 dolarów przy 7 nm, 16 000 dolarów przy 5 nm i prawie 20 000 dolarów w procesie 3 nm. Do tych cen należy oczywiście doliczyć koszt obróbki struktur (cięcie, testowanie, pakowanie w obudowy) oraz uwzględnić uzysk procesu, czyli to, że część chipów nie będzie działać.