TSMC opracowało nową technikę czyszczenia dla maski EUV

TSMC opracowało pierwszą na świecie przyjazną dla środowiska technikę oczyszczania na sucho dla maski EUV, która zastępuje tradycyjny proces. Dzięki analizie opadu i eliminacji źródła zanieczyszczeń, liczba niepożądanych cząstek na każde 1000 płytek zmniejszyła się z setek jednostek do wartości jednocyfrowych, co odpowiada efektywności redukcji na poziomie 99%.

Posłuchaj
00:00

Według firmy, od momentu wprowadzenia nowego rozwiązania na rynek oszczędzono podczas produkcji płytek 735 ton wody i 36 ton środków chemicznych. Fotomaskę EUV można podzielić na dwa typy - z błoną i bez. TSMC wybrało maskę EUV bez błony w celu zwiększenia przepuszczalności optycznej, zmniejszając straty energii podczas ekspozycji. W celu rozwiązania problemów z opadającymi cząsteczkami, TSMC w 2018 roku rozpoczęło pracę nad techniką analizy opadu cząsteczek.

TSMC wskazuje, że opadające cząsteczki są szybko usuwane za pomocą techniki czyszczenia na sucho, a ich źródło jest precyzyjnie lokalizowane za pomocą analizy sięgającej poniżej nanometrów, co pozwala wykluczyć zanieczyszczenia.

Dzięki technice czyszczenia na sucho radykalnie zwiększyła się efektywność wykorzystania zasobów. Od czasu jej wprowadzenia w 2018 roku cykl pracy maski EUV wzrósł o ponad 80%, a jej żywotność w zaawansowanym procesie również się wydłużyła, generując skumulowany efekt poprawy o wartości 2 mld NT (68 mln dolarów). W 2019 roku TSMC zautomatyzowało swoją technikę czyszczenia na sucho, a opracowany system produkcji został wprowadzony w styczniu tego roku do wszystkich zakładów foundry wytwarzających 12-calowe płytki.

Źródło: Digitimes

Powiązane treści
Rosja może przejąć światowy rynek neonu
TSMC wybuduje fabrykę dla chipów w procesie 2 nm
Samsung zwiększa zdolności produkcyjne w technologii EUV
W 2024 roku TSMC rozpocznie masową produkcję układów 2 nm
TSMC wydało prawie 3 mld dolarów na badania i rozwój
SK hynix ukończyl budowę fabryki produkującej DRAM w litografii EUV
Samsung notuje rekordowy udział w tajwańskim rynku smartfonów
Foxconn odnotował rekordowy wzrost przychodów
Mediatek wprowadzi chipy 5G SoC w litografii 6 nm
TSMC osiąga coraz lepsze wyniki
Zobacz więcej w kategorii: Gospodarka
Produkcja elektroniki
Minifabryki półprzewodników
Mikrokontrolery i IoT
Zarządzanie ryzykiem i regulacjami w IoT – przewodnik od Mouser i NXP
Produkcja elektroniki
Czesi rozwijają potencjał w zakresie półprzewodników
Aktualności
Cyfrowa transformacja w fińskim przemyśle elektronicznym: Panasonic i Kemptron integrują produkcję z magazynem
PCB
Recykling PCB już za chwilę
Pomiary
Danisense uruchamia portal do kalibracji przetworników prądowych – niezależnie od marki i z certyfikatem ISO 17025
Zobacz więcej z tagiem: Produkcja elektroniki
Gospodarka
Minifabryki półprzewodników
Prezentacje firmowe
Electro-Welle – kompleksowe podejście do produkcji elektroniki
Gospodarka
Czesi rozwijają potencjał w zakresie półprzewodników
Zapytania ofertowe
Unikalny branżowy system komunikacji B2B Znajdź produkty i usługi, których potrzebujesz Katalog ponad 7000 firm i 60 tys. produktów